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品牌 | 其他品牌 | 應用領域 | 環保,化工,電子 |
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原子層蝕刻設備介紹:
原子層蝕刻設備ALE)是一種先進的蝕刻技術,可精準的控制其蝕刻深度。隨著元件尺寸的進一步減小,需要進一步的使用ALE才能達到其所需的精度。
這就引起了人們對被稱為原子級蝕刻(ALE)的技術的關注,該技術克服了原子級常規蝕刻的局限性?;峨姖{的原子層蝕刻是氣體以定量注入和離子轟擊的周期性蝕刻過程,並具有去除單個薄膜層、極低的損壞率等優點。
SYSKEY的系統可以精準的控制製程氣體與電漿製程,並提供高精準度的薄膜蝕刻。
原子層蝕刻設備參數:
應用領域 | 腔體 |
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配置和優點 | 選件 |
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