晶體硅太陽電池 SENperc PV是為PERC太陽能電池制造質量控制而設計的。它測量SiO2、Al2O3和SiNX單層膜和疊層膜，這些單層膜和疊層膜用于PERC電池(多晶硅襯底和c-Si襯底)的正面反射和背面鈍化。對沉積過程的穩定性進行長時間的監測。由此，優化了維護時間間隔。